Facility Management
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Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Ruhr-Universität Bochum
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Beleg Leistungsumfang: „klimaschädliche Ätzgase nutzen. ## Beschreibung der Beschaffung (Art und Umfang der Dienstleistung bzw. Angabe der Bedürfnisse und Anforderungen) Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik"
Geschäftsentscheidung
Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS: Vergabeunterlagen anfordern
Zu Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS sind nur Basisdaten bekannt: Verfahren: dialog, Frist: 14.09.2026. Leistungsumfang, Mengen, Eignung und Zuschlagskriterien sind nicht dokumentiert. Eine Bewertung ist erst nach Prüfung der Vergabeunterlagen möglich. Die Angebotsfrist ist der 14.09.2026.
Nächster Schritt: Vergabeunterlagen bis 14.09.2026 12:00 anfordern: Was genau soll geliefert werden? Welche Mengen? Welche Eignungsnachweise?
Offen: Gewinnanforderungen sind nicht dokumentiert. Lieferanforderungen sind nicht dokumentiert. Detaillierter Leistungsumfang und Mengen sind nicht dokumentiert. Zuschlagskriterien sind nicht dokumentiert.
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30 Punkte offen
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Nächster Termin: 14.09.2026, 14:00
Nicht alle entdeckten Unterlagen konnten gelesen werden. Aussagen bitte im Original prüfen.
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„zur Bietereignung Vom Unternehmen sind vorzulegen: der unterschriebene Teilnahmeantrag 2. die nachstehend angekreuzten Unterlagen, Nachweise bzw. Erklärungen zur Eignungsprüfung Eigenerklärung zu Ausschlussgründen (Formular 521 EU) Eigenerklärung zum Mindestlohngesetz (Formular 522 EU) Bewerber/Bietergemein”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„2. die nachstehend angekreuzten Unterlagen, Nachweise bzw. Erklärungen zur Eignungsprüfung Eigenerklärung zu Ausschlussgründen (Formular 521 EU) Eigenerklärung zum Mindestlohngesetz (Formular 522 EU) Bewerber/Bietergemeinschaftserklärung (Formular 531) Erklärung Unteraufträge/Eignungsleihe (Formular 532) Ver”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„. Erklärungen zur Eignungsprüfung Eigenerklärung zu Ausschlussgründen (Formular 521 EU) Eigenerklärung zum Mindestlohngesetz (Formular 522 EU) Bewerber/Bietergemeinschaftserklärung (Formular 531) Erklärung Unteraufträge/Eignungsleihe (Formular 532) Verpflichtungserklärung Nachunternehmer (Formular 533) Eig”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„sschlussgründen (Formular 521 EU) Eigenerklärung zum Mindestlohngesetz (Formular 522 EU) Bewerber/Bietergemeinschaftserklärung (Formular 531) Erklärung Unteraufträge/Eignungsleihe (Formular 532) Verpflichtungserklärung Nachunternehmer (Formular 533) Eigenerklärung RUS (Formular 2022/576) detaillierte Darste”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„zum Mindestlohngesetz (Formular 522 EU) Bewerber/Bietergemeinschaftserklärung (Formular 531) Erklärung Unteraufträge/Eignungsleihe (Formular 532) Verpflichtungserklärung Nachunternehmer (Formular 533) Eigenerklärung RUS (Formular 2022/576) detaillierte Darstellung des Unternehmens und der Kompetenzschwerpunk”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„raufträge/Eignungsleihe (Formular 532) Verpflichtungserklärung Nachunternehmer (Formular 533) Eigenerklärung RUS (Formular 2022/576) detaillierte Darstellung des Unternehmens und der Kompetenzschwerpunkte. Bei Bietergemeinschaften sind diese Angaben für alle Mitglieder der Bietergemeinschaft vorzulegen. Bitte mac”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„lichtungserklärung Nachunternehmer (Formular 533) Eigenerklärung RUS (Formular 2022/576) detaillierte Darstellung des Unternehmens und der Kompetenzschwerpunkte. Bei Bietergemeinschaften sind diese Angaben für alle Mitglieder der Bietergemeinschaft vorzulegen. Bitte machen Sie mindestens Angaben zu den folgenden Punkten:”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„etergemeinschaft vorzulegen. Bitte machen Sie mindestens Angaben zu den folgenden Punkten: Referenzen zu bereits gelieferten vergleichbaren Anlagen und zum vorhandenen Prozess-Know-how / Applikationslabor für Prozesse. Zum Nachweis der wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit (gem. § 45 VgV) sind folgende U”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„gleichbaren Anlagen und zum vorhandenen Prozess-Know-how / Applikationslabor für Prozesse. Zum Nachweis der wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit (gem. § 45 VgV) sind folgende Unterlagen einzureichen: Bonitätserklärung der Bank. Bei Bietergemeinschaften ist dieser Nachweis für alle Mitglieder der Biete”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„und finanziellen Leistungsfähigkeit (gem. § 45 VgV) sind folgende Unterlagen einzureichen: Bonitätserklärung der Bank. Bei Bietergemeinschaften ist dieser Nachweis für alle Mitglieder der Bietergemeinschaft vorzulegen. Angabe der Umsatzzahlen der letzten drei Jahre mit vergleichbaren Aufträgen (Angabe erfolgt im Te”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„en der letzten drei Jahre mit vergleichbaren Aufträgen (Angabe erfolgt im Teilnahmeantrag) Zum Nachweis der technischen und beruflichen Leistungsfähigkeit (gem. § 46 VgV) sind folgende Unterlagen einzureichen: Angabe, welche Teile des Auftrags das Unternehmen unter Umständen als Unteraufträge zu vergeben beabsichtigt”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„le des Auftrags das Unternehmen unter Umständen als Unteraufträge zu vergeben beabsichtigt Angabe von mindestens 3 Referenzen zu vergleichbaren erfolgreich abgewickelten Aufträgen (Angabe erfolgt im Teilnahmeantrag) Eine Erklärung über die Verfügbarkeit eines technischen Services in Deutschland in weniger als eine”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„auf alle Unternehmen im Konzernbereich/ mit Ihnen verbundener Unternehmen o. ä. beziehen. Angaben zu der Weitergabe von Leistungen an Unterauftragnehmer sind derzeit nur erforderlich, sofern der Bewerber sich zum Nachweis seiner Eignung auf diese beruft. Der Auftraggeber behält sich vor, entsprechende Angaben im Laufe des Verfahrens einschließlich weitergehender Nachweise betreffend Unterauftragnehmerleistungen zu ve”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„u nehmen. Die ausgefüllten Formulare 532 EU und 533 EU sind beigefügt. Bevorzugte Bieter Wir sind bevorzugter Bieter als Werkstatt für behinderte Menschen oder Blindenwerkstatt. Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers reichen wir einen entsprechenden Nachweis ein. Kartellerklärung Wir gehören einer”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„. Sofern mehr als drei Referenzen angegeben werden, liegen diese auf separater Anlage bei. Uns ist bewusst, dass sofern keine entsprechenden drei erfolgreichen Referenzen nachgewiesen werden können, dies zur Nichtberücksichtigung des Angebotes führt. Referenzauftrag 1 Kunde/Firma Ansprechpartner beim Kunden”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„Referenzen nachgewiesen werden können, dies zur Nichtberücksichtigung des Angebotes führt. Referenzauftrag 1 Kunde/Firma Ansprechpartner beim Kunden Anschrift mit Telefonnummer Zeitraum der Leistungserbringung Umsatzvolumen Auftragsbeschreibung Referenzauftrag 2 Kunde/Firma”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„mer Zeitraum der Leistungserbringung Umsatzvolumen Auftragsbeschreibung Referenzauftrag 2 Kunde/Firma Ansprechpartner beim Kunden Anschrift mit Telefonnummer Zeitraum der Leistungserbringung Umsatzvolumen Auftragsbeschreibung Referenzauftrag 3 Kunde/”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„en, dass wir im Auftragsfall gegenüber dem Auftraggeber als Gesamtschuldner haften werden. Bevollmächtigter Vertreter, der die aufgeführten Mitglieder der Bewerber- bzw. Bietergemeinschaft gegenüber dem Auftraggeber rechtsverbindlich vertritt sowie berechtigt ist, einen gemeinsamen Teilnahmeantrag bzw. ein gemeinsames Angebot abzugeben, ist das unten bezeichnete federführende Mitglied.”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„d der Bewerber- bzw. Bietergemeinschaft einzeln unterschrieben mit dem Angebot vorzulegen. von jedem Mitglied der Bewerber-/Bietergemeinschaft zu unterschreiben. VHB NRW Formular 531 EU 10/2018 Bewerber-/Bietergemeinschaftserklärung === vertragsbedingungen/532_EU_Eignungsleihe.docx === Erklärung Unteraufträge/Eign”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„dem Mitglied der Bewerber-/Bietergemeinschaft zu unterschreiben. VHB NRW Formular 531 EU 10/2018 Bewerber-/Bietergemeinschaftserklärung === vertragsbedingungen/532_EU_Eignungsleihe.docx === Erklärung Unteraufträge/Eignungsleihe Vergabeverfahren ☐ Ich/wir beabsichtige(n) Teile des Auftrags im Rahmen eines Unterauf”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„unterschreiben. VHB NRW Formular 531 EU 10/2018 Bewerber-/Bietergemeinschaftserklärung === vertragsbedingungen/532_EU_Eignungsleihe.docx === Erklärung Unteraufträge/Eignungsleihe Vergabeverfahren ☐ Ich/wir beabsichtige(n) Teile des Auftrags im Rahmen eines Unterauftrags nach § 36 VgV an Nachunternehmer zu vergeb”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„erber-/Bietergemeinschaftserklärung === vertragsbedingungen/532_EU_Eignungsleihe.docx === Erklärung Unteraufträge/Eignungsleihe Vergabeverfahren ☐ Ich/wir beabsichtige(n) Teile des Auftrags im Rahmen eines Unterauftrags nach § 36 VgV an Nachunternehmer zu vergeben: Nachunternehmer (Firmenname, Sitz) Angabe der übern”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„irmenname, Sitz) Angabe der übernommenen Auftragsteile/des übernommenen Leistungsbereiches Angabe der vom Nachunternehmer erfüllten Eignungsanforderungen (bitte ggf. weitere Zeilen einfügen) Eine entsprechend unterschriebene Verpflichtungserklärung des/der Nachunternehmen(s) (Formular 533 EU) ist dieser Erklärung beig”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„an den o.g. Bewerber/Bieter, die im Formular 532 EU genannten Auftragsteile zu erbringen. ☐ Verpflichtungserklärung bei Unteraufträgen mit Eignungsleihe nach § 47 VgV Ich/Wir verpflichte(n) mich/uns gegenüber dem Auftraggeber, im Falle der Auftragsvergabe an den o.g. Bewerber/Bieter diesem mit den erforderlichen Kapa”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„ssgründe nach §§ 123, 124 GWB vorliegen (Formular 521 EU) sind dieser Erklärung beigefügt. ☐Der Bewerber bzw. Bieter nimmt zum Nachweis seiner Eignung die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit meines/unseres Unternehmens in Anspruch. Ich/Wir verpflichte(n) mich/uns gegenüber dem Auftraggeber, im Falle der Auftragsvergabe an den o.g. Bewerber/Bieter mit diesem gemeinsam für die Auftragsausführung zu hafte”Quelle öffnen
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Vergabeunterlagen_CXPNYH7D2XQ.zip„er Vorschrift genannten Personenkreis mit einem Bezug zu Russland im Sinne der Vorschrift. 3. Es wird bestätigt und sichergestellt, dass auch während der Vertragslaufzeit keine als Unterauftragnehmer, Lieferanten oder Unternehmen, deren Kapazitäten im Zusammenhang mit der Erbringung des Eignungsnachweises in Anspruch genommen werden, beteiligten Unternehmen eingesetzt werden, auf die mehr als 10 % des Auftragswerts e”Quelle öffnen
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eforms.html„## Eignungskriterien / Ausschreibungsbedingungen ## Eignungskriterium Art des Kriteriums Eintragung in ein relevantes Berufsregister Beschreibung Wir sind Mitglied folgender Beruf”Quelle öffnen
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eforms.html„das vom Auftraggeber zur Verfügung gestellte Dokument 02 - Angebotsvordruck zu verwenden. Bei Bietergemeinschaften sind diese Angaben für alle Mitglieder der Bietergemeinschaft vorzulegen. Sofern ein Bewerber zum Nachweis seiner Eignung sich auf andere Unternehmen, insbesondere Subunternehmer beruft, sind entsprechende Angaben auch für diese vorzulegen.”Quelle öffnen
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eforms.html„insbesondere Subunternehmer beruft, sind entsprechende Angaben auch für diese vorzulegen. Bieter haben im Angebotsvordruck folgende Nachweise in Form von Eigenerklärungen zu erbringen: - Angabe von mindestens 3 Referenzen zu vergleichbaren Aufträgen - Eine Erklärung über die Verfügbarkeit eines technischen Services i”Quelle öffnen
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eforms.html„er haben im Angebotsvordruck folgende Nachweise in Form von Eigenerklärungen zu erbringen: - Angabe von mindestens 3 Referenzen zu vergleichbaren Aufträgen - Eine Erklärung über die Verfügbarkeit eines technischen Services in Deutschland in weniger als einer Woche (5 Arbeitstage) nach Anfrage - Bestätigung an einem In”Quelle öffnen
Keine sichere Abweichung in den verfügbaren Unterlagen gefunden.
Abgabe des Angebots
14.09.2026, 14:00
Ausschreibungsdaten„Abgabefrist aus den Ausschreibungsdaten.”